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技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLESSensofar三維共聚焦干涉顯微鏡S neox是一款綜合性多功能三維形貌測(cè)量?jī)x器,可以滿足用戶對(duì)三維表面測(cè)量的復(fù)雜要求——在多重聚焦模式下,可實(shí)現(xiàn)極為粗糙表面的三維測(cè)量,適用于毫米級(jí)粗糙表面的三維測(cè)量;在共聚焦模式下,橫向分辨率高達(dá)140nm,可觀察超越常規(guī)光學(xué)顯微鏡分辨率極限的細(xì)密組織,適用于微米級(jí)粗糙表面的三維測(cè)量;干涉測(cè)量模式下,可在低倍和高倍下,同時(shí)實(shí)現(xiàn)高達(dá)0.1nm的高精度縱向分辨率,適用于亞微米及納米級(jí)粗糙表面的三維測(cè)量;一機(jī)多用,可最大限度發(fā)揮產(chǎn)品的性能,節(jié)省時(shí)間和投資成本。
Sensofar三維共聚焦干涉顯微鏡S neox實(shí)際應(yīng)用范圍非常廣,可廣泛適用于汽車零部件、微電子、太陽(yáng)能電池、印刷、航空、光學(xué)鏡片、公安刑偵、激光加工、摩擦學(xué)、材料性能測(cè)試、考古、醫(yī)療器械、地質(zhì)、紙張等諸多領(lǐng)域,簡(jiǎn)單分享幾個(gè)實(shí)測(cè)案例如下:
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