Sensofar CSI （白光干涉） 是如何運(yùn)作的?

Sensofar 干涉

為了測量超光滑的表面及中等粗糙表面的表面高度，通過干涉技術(shù)，可在任何放大倍率下實現(xiàn)相同的系統(tǒng)噪聲，它可實現(xiàn)優(yōu)于 0.01 nm 的系統(tǒng)噪聲。

CSI （白光干涉）使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度，任何放大倍率下均達(dá)到 1 nm 的高度分辨率。

采用干涉法，3D 測量能以高精度進(jìn)行。可沿 Z 軸掃描，在整個樣本上獲得條紋，用獲取的不同像素的高度重新構(gòu)建 3D 圖像。