PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統(tǒng)

產(chǎn)品簡介

PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統(tǒng)可以實現(xiàn)包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場耦合研究。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-10-20

廠商性質(zhì)：代理商

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

臺式電鏡&臺階儀&原位分析

澤攸澤攸臺式掃描電鏡澤攸臺階儀澤攸探針臺及低溫系統(tǒng) 澤攸TEM原位方案(樣品桿) 澤攸SEM原位解決方案

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PicoFemto NI-100 SEM納米力測量將納米壓痕儀集成進掃描電鏡中，使用戶可以在掃描電鏡中進行原位納米壓痕研究。該系統(tǒng)由一個三維壓電驅(qū)動的樣品臺和一個納米力測量探針組成。樣品安裝方式靈活多樣，可在三維納米位移臺的驅(qū)動下，達(dá)到超過5 mm的準(zhǔn)確定位，定位分辨率優(yōu)于100 nm，以使待測量區(qū)域準(zhǔn)確對準(zhǔn)力探針。

力探針同樣由壓電驅(qū)動，在軸向達(dá)到100 um的伸縮長度，位移分辨率優(yōu)于0.25mm。由力傳感器準(zhǔn)確測量所施加的力的載荷，可測拉力和壓力。并有不同的大量程的力傳感器可選配，達(dá)到很好的測量效果。通過搭配電學(xué)、光學(xué)、加熱等模塊，PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統(tǒng)還可以實現(xiàn)包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場耦合研究。

PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統(tǒng)基本技術(shù)參數(shù)表