ZYGO白光干涉儀是基于激光干涉儀原理的高精度光學表面輪廓測量設備，廣泛應用于科研、工業(yè)和質量控制領域。該設備采用優(yōu)良的白光干涉技術，通過測量光程差來獲取樣品表面的三維形貌和粗糙度信息。其非接觸式測量方式避免了對樣品的物理損傷，適用于多種材料和復雜表面的測量。ZYGO白光干涉儀高精度表面測量解決方案

在性能方面，ZYGO白光干涉儀具備高精度和高分辨率，支持多種測量模式，如相移干涉（PSI）和垂直掃描干涉（VSI），適用于不同表面特性樣品的測量。設備支持多種樣品臺和自動聚焦功能，便于靈活調整測量參數(shù)。ZYGO的設備在光學系統(tǒng)中采用高線性電容傳感器和閉環(huán)反饋壓電陶瓷，確保測量的穩(wěn)定性和重復性。

ZYGO激光干涉儀廣泛應用于科研、制造業(yè)和質量控制領域，適用于LED、半導體、醫(yī)療設備、汽車工業(yè)等行業(yè)的表面形貌、粗糙度和三維輪廓測量。其非接觸式測量方式確保了樣品的完整性和測量的可靠性。ZYGO白光干涉儀高精度表面測量解決方案