布魯克三維光學(xué)輪廓儀保障長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行

為延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命，布魯克提供全生命周期服務(wù)方案，涵蓋日常清潔、定期校準(zhǔn)與軟件更新。

日常維護(hù)

1. 光學(xué)部件清潔：每周使用專(zhuān)用鏡頭紙與無(wú)水乙醇清潔物鏡與反射鏡，避免劃傷鍍膜層。

2. 機(jī)械結(jié)構(gòu)檢查：每月檢查樣品臺(tái)軌道潤(rùn)滑情況，補(bǔ)充高溫潤(rùn)滑脂（如Molykote 33）；驗(yàn)證平移臺(tái)移動(dòng)順暢性，確保無(wú)卡滯或異響。

3. 環(huán)境監(jiān)控：在設(shè)備旁放置溫濕度記錄儀，當(dāng)環(huán)境參數(shù)超出17-29℃、30-65%范圍時(shí)，啟動(dòng)空調(diào)或除濕機(jī)調(diào)節(jié)。

定期校準(zhǔn)
布魯克建議每2000小時(shí)進(jìn)行一次全面校準(zhǔn)，包括：

• 垂直分辨率驗(yàn)證：使用NIST溯源的納米級(jí)臺(tái)階標(biāo)樣（高度100nm），測(cè)量30次的標(biāo)準(zhǔn)偏差應(yīng)＜0.1nm。

• 橫向定位精度測(cè)試：通過(guò)激光干涉儀檢測(cè)樣品臺(tái)XY軸移動(dòng)誤差，確保重復(fù)性優(yōu)于0.1μm。

• 光強(qiáng)穩(wěn)定性檢測(cè)：連續(xù)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)樣品8小時(shí)，驗(yàn)證垂直分辨率變化量≤0.4nm。

軟件與硬件升級(jí)
布魯克每年發(fā)布兩次軟件更新包，新增分析工具（如動(dòng)態(tài)粗糙度分析）與行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)兼容模塊。用戶可通過(guò)USB接口或網(wǎng)絡(luò)下載升級(jí)文件，整個(gè)過(guò)程耗時(shí)不超過(guò)15分鐘。針對(duì)硬件擴(kuò)展需求，可選配自動(dòng)化物鏡塔臺(tái)、電動(dòng)離焦調(diào)整模塊或高溫樣品臺(tái)（最高150℃），進(jìn)一步提升設(shè)備適應(yīng)性。布魯克三維光學(xué)輪廓儀保障長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行