Sensofar共聚焦白光干涉輪廓儀適用薄膜檢測(cè)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Sensofar共聚焦白光干涉輪廓儀適用薄膜檢測(cè)專(zhuān)屬配置 S neox搭載光譜反射法（SR）模塊，專(zhuān)為薄膜檢測(cè)設(shè)計(jì)，無(wú)需樣品預(yù)處理即可實(shí)現(xiàn)非破壞性測(cè)量。

產(chǎn)品型號(hào)：S neox

更新時(shí)間：2025-10-29

廠商性質(zhì)：代理商

訪(fǎng)問(wèn)量：50

產(chǎn)品咨詢(xún) 17701039158

產(chǎn)品分類(lèi)

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Sensofar共聚焦白光干涉輪廓儀適用薄膜檢測(cè)

S neox搭載光譜反射法（SR）模塊，專(zhuān)為薄膜檢測(cè)設(shè)計(jì)，無(wú)需樣品預(yù)處理即可實(shí)現(xiàn)非破壞性測(cè)量。設(shè)備配備薄膜專(zhuān)用物鏡，能聚焦光線(xiàn)至薄膜表面，配合高靈敏度探測(cè)器捕捉干涉光譜。軟件內(nèi)置薄膜分析算法，可自動(dòng)優(yōu)化層厚度與折射率參數(shù)，直至找到最佳擬合結(jié)果。檢測(cè)平臺(tái)采用微調(diào)結(jié)構(gòu)，能精準(zhǔn)對(duì)準(zhǔn)薄膜樣品的檢測(cè)區(qū)域。

二、性能優(yōu)勢(shì)：快速精準(zhǔn)的厚度測(cè)量

該模塊能測(cè)量 10nm 至 20μm 的透明薄膜，厚度分辨率達(dá) 0.1nm，橫向分辨率可達(dá) 5μm。單次檢測(cè)耗時(shí)不到 1 秒，適合批量薄膜樣品的快速篩查。支持 1 至 10 層的多層薄膜測(cè)量，能清晰區(qū)分各層厚度，滿(mǎn)足復(fù)合薄膜檢測(cè)需求。測(cè)量數(shù)據(jù)重復(fù)性良好，多次檢測(cè)同一位置的偏差可忽略不計(jì)。

三、用材與檢測(cè)保障

光學(xué)鏡頭針對(duì)薄膜檢測(cè)的光譜范圍優(yōu)化了鍍膜工藝，在可見(jiàn)光至近紅外波段保持高透光率。探測(cè)器選用高靈敏度型號(hào)，能捕捉微弱的薄膜干涉信號(hào)，減少測(cè)量誤差。設(shè)備內(nèi)部采用溫度補(bǔ)償設(shè)計(jì)，避免環(huán)境溫度變化影響光譜分析精度，保障檢測(cè)穩(wěn)定性。

四、操作流程與應(yīng)用領(lǐng)域

以透明薄膜厚度檢測(cè)為例：1. 將薄膜樣品平鋪在檢測(cè)平臺(tái)上，確保表面無(wú)褶皺；2. 打開(kāi)軟件，選擇 “薄膜檢測(cè)" 模塊，設(shè)置單層 / 多層模式；3. 點(diǎn)擊 “掃描"，設(shè)備快速采集干涉光譜并進(jìn)行分析；4. 1 秒內(nèi)生成厚度數(shù)據(jù)，可導(dǎo)出 Excel 格式存檔。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜、光學(xué)薄膜、醫(yī)用薄膜等領(lǐng)域，可檢測(cè)薄膜厚度均勻性、折射率等關(guān)鍵參數(shù)。

五、核心參數(shù)簡(jiǎn)表

項(xiàng)目	規(guī)格
檢測(cè)技術(shù)	光譜反射法（SR）
薄膜厚度范圍	10nm-20μm
厚度分辨率	0.1nm
橫向分辨率	可達(dá) 5μm
檢測(cè)速度	＜1 秒 / 次
支持層數(shù)	1-10 層