Sensofar S neox共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀針對(duì)工業(yè)場(chǎng)景設(shè)計(jì)，機(jī)身采用防塵防水的IP54防護(hù)結(jié)構(gòu)，能抵御車間的粉塵與水汽侵蝕。航空級(jí)鋁合金框架重量適中，既方便設(shè)備布局，又能提供足夠剛性，減少生產(chǎn)環(huán)境中振動(dòng)的影響。檢測(cè)平臺(tái)采用耐磨不銹鋼材質(zhì)，經(jīng)長(zhǎng)期使用仍能保持平整度，搭配系統(tǒng) 3r clamping clamping 系統(tǒng)，可快速固定批量樣品，提升檢測(cè)效率。設(shè)備支持集成到生產(chǎn)線，通過自動(dòng)化接口與工業(yè)控制系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)檢測(cè)流程的無縫銜接。
工業(yè)檢測(cè)對(duì)效率要求較高，S neox 的掃描速度可達(dá)≤3mm/s，單次掃描時(shí)間低至 3 秒，五軸款更是能將圖像獲取時(shí)間縮短至 1.5 秒，適配批量檢測(cè)需求。共聚焦與白光干涉技術(shù)的快速切換，讓設(shè)備能應(yīng)對(duì)不同材質(zhì)樣品 —— 從塑料零件的粗糙度篩查到半導(dǎo)體晶圓的精密檢測(cè)均可覆蓋。
重復(fù)性是工業(yè)質(zhì)檢的關(guān)鍵，S neox 通過內(nèi)部校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的測(cè)量重復(fù)性，在汽車零部件檢測(cè)中，即便無氣浮隔振臺(tái)，也能完成 Ra=0.8μm 的精密模具測(cè)量。實(shí)時(shí)環(huán)境補(bǔ)償算法能抵消溫度波動(dòng)與振動(dòng)干擾，確保生產(chǎn)線環(huán)境下的數(shù)據(jù)可靠性。
基礎(chǔ)版 S neox 適合中小型企業(yè)的常規(guī)質(zhì)檢，如金屬表面劃痕檢測(cè)、橡膠制品紋理分析等，操作簡(jiǎn)單且維護(hù)成本較低。進(jìn)階版搭載五軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)與 AI 路徑規(guī)劃模塊，檢測(cè)效率提升 30%，常用于半導(dǎo)體金線高度檢測(cè)、光學(xué)鏡片鍍膜均勻性分析等精密場(chǎng)景。
S neox Grand Format 專為大尺寸樣品設(shè)計(jì)，600×600mm 的移動(dòng)范圍能滿足半導(dǎo)體面板、印刷電路板的全表面檢測(cè)，且經(jīng)認(rèn)證符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)，可直接輸出行業(yè)認(rèn)可的檢測(cè)報(bào)告。定制版可加裝高溫原位測(cè)量艙，用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片氧化層厚度的在線檢測(cè)。
工業(yè)質(zhì)檢注重自動(dòng)化與標(biāo)準(zhǔn)化，S neox 的 SensoSCAN 軟件提供 “自動(dòng)化程序模塊"，可創(chuàng)建自定義質(zhì)檢流程，通過 recipe 工具命令設(shè)備在預(yù)設(shè)位置完成多次測(cè)量。“樣品陣列" 功能能將測(cè)量配方復(fù)制到多組樣品，只需定義一次即可批量執(zhí)行，大幅提升效率。
軟件支持 “合格 / 不合格" 公差對(duì)比，能自動(dòng)判斷樣品是否符合標(biāo)準(zhǔn)，配合樣品識(shí)別與數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能，形成完整的質(zhì)檢數(shù)據(jù)鏈。用戶管理功能可設(shè)置不同操作權(quán)限，保障檢測(cè)流程的規(guī)范性。廠家提供 48 小時(shí)內(nèi)的現(xiàn)場(chǎng)安裝調(diào)試服務(wù)，確保設(shè)備快速投入生產(chǎn)使用。
Sensofar白光干涉輪廓儀適配工業(yè)檢測(cè)環(huán)境
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