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Sensofar 白光干涉儀常見問題排查

更新時(shí)間:2025-11-20點(diǎn)擊次數(shù):87
  Sensofar 白光干涉儀作為精密光學(xué)測(cè)量設(shè)備,使用中易受光學(xué)部件、機(jī)械結(jié)構(gòu)、軟件系統(tǒng)及環(huán)境等因素影響出現(xiàn)故障。以下是其常見問題、成因及對(duì)應(yīng)排查解決辦法,結(jié)合其 S neox 等主流系列的特性整理而來(lái):
 
  光源相關(guān)問題
 
  常見故障:光源亮度不穩(wěn)定、不亮,或 4 色 LED 光源(紅、綠、藍(lán)、白)某一色無(wú)法點(diǎn)亮,影響干涉條紋形成。
 
  排查解決:先檢查電源連接是否牢固,開關(guān)是否正常,若電源無(wú)問題,再查看光源連接線有無(wú)破損、接觸不良;其采用光纖耦合相關(guān)的光源結(jié)構(gòu),需重點(diǎn)檢查光纖是否折損、脫落;LED 光源雖壽命長(zhǎng)但會(huì)隨時(shí)間衰減,若光源強(qiáng)度持續(xù)降低,可通過儀器自檢功能確認(rèn),必要時(shí)按手冊(cè)更換匹配的 LED 光源模塊。
 
  干涉條紋異常
 
  常見故障:條紋不清晰、不對(duì)稱,或干涉環(huán)不圓正,轉(zhuǎn)動(dòng)粗動(dòng)手輪時(shí)干涉環(huán)從中心向外漂移。
 
  排查解決:條紋不清晰多是樣品表面有灰塵污漬,或光學(xué)部件污染,可用專用清潔液和無(wú)塵紙擦拭樣品表面及分束器、反射鏡等光學(xué)件;條紋不對(duì)稱大概率是運(yùn)輸或碰撞導(dǎo)致分光板與補(bǔ)償板平行度破壞,可通過兩板觀察日光燈等目標(biāo)物,調(diào)節(jié)板上寬頭螺釘使雙象重合;干涉環(huán)不圓正可能是分光板膜層面裝反,或鏡片受壓應(yīng)力,可旋松螺釘取出分光板翻轉(zhuǎn) 180° 重裝,同時(shí)放松過緊的調(diào)節(jié)螺釘;干涉環(huán)漂移多因光源不垂直于移動(dòng)鏡,先調(diào)儀器底腳螺釘調(diào)平設(shè)備,再調(diào)整光源使擴(kuò)束激光充滿固定鏡,將移動(dòng)鏡調(diào)至零光程附近即可。
 
  機(jī)械部件操作故障
 
  常見故障:轉(zhuǎn)動(dòng)粗動(dòng)、微動(dòng)手輪時(shí)拖板不走;讀數(shù)空位大于 0.03mm,影響測(cè)量精度。
 
  排查解決:拖板不走若為粗動(dòng)手輪問題,可能是絲桿脫出或齒輪螺母松動(dòng),可松動(dòng)尾架螺釘將絲桿推回讀數(shù)頭側(cè),同時(shí)旋緊松動(dòng)的齒輪螺母;若是微動(dòng)手輪問題,多是傳動(dòng)小齒輪壓緊螺母松動(dòng),打開傳動(dòng)盒蓋旋緊螺母,使彈簧片壓緊蝸輪即可。讀數(shù)空位過大時(shí),先調(diào)整拖板體下頂塊間隙,輕推拖板體后緊固頂塊螺釘,若無(wú)效再調(diào)整檔板與導(dǎo)軌間隙至 0.02mm,最后調(diào)節(jié)傳動(dòng)螺母螺釘減小配合間隙。
 
  測(cè)量結(jié)果異常
 
  常見故障:測(cè)量數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確、重復(fù)性差,或波長(zhǎng)測(cè)定值偏長(zhǎng),無(wú)法滿足納米級(jí)測(cè)量需求。
 
  排查解決:結(jié)果不準(zhǔn)先檢查樣品是否平穩(wěn)固定,環(huán)境是否符合 15 - 25℃的標(biāo)準(zhǔn)工作溫度,遠(yuǎn)離振動(dòng)源和氣流擾動(dòng);定期用可追溯標(biāo)準(zhǔn)樣品校準(zhǔn)儀器,基礎(chǔ)校準(zhǔn)可通過內(nèi)置功能完成,關(guān)鍵校準(zhǔn)需聯(lián)系專業(yè)人員。波長(zhǎng)測(cè)定值偏長(zhǎng),可能是拖板體彈簧片壓力太緊,可適當(dāng)減小彈簧壓力;若導(dǎo)軌潤(rùn)滑油脂過厚,需清洗后重新涂抹適配的精密儀表油;絲桿尾架壓緊力偏小的話,旋出滾花螺套拉長(zhǎng)彈簧即可。
 
  軟件與系統(tǒng)問題
 
  常見故障:配套的 SensoMAP 軟件無(wú)法啟動(dòng)、頻繁崩潰,界面卡頓,或測(cè)量數(shù)據(jù)無(wú)法保存、導(dǎo)出失敗。
 
  排查解決:軟件啟動(dòng)失敗可重啟計(jì)算機(jī),檢查驅(qū)動(dòng)程序是否適配,必要時(shí)卸載后重新安裝;卡頓多是計(jì)算機(jī)性能不滿足運(yùn)行要求,可關(guān)閉后臺(tái)冗余程序,確保硬件符合軟件運(yùn)行標(biāo)準(zhǔn);軟件有更新版本時(shí)及時(shí)升級(jí),新版本通常會(huì)修復(fù)故障;數(shù)據(jù)保存失敗可檢查存儲(chǔ)路徑是否正確,定期手動(dòng)備份測(cè)量數(shù)據(jù)和系統(tǒng)設(shè)置,避免數(shù)據(jù)丟失。
 
  電氣與連接故障
 
  常見故障:設(shè)備啟動(dòng)無(wú)響應(yīng),部分功能模塊無(wú)法正常工作,或出現(xiàn)異常聲音、燒焦味。
 
  排查解決:?jiǎn)?dòng)無(wú)響應(yīng)先檢查電氣線路和接口是否老化、松動(dòng),重新插拔牢固后再開機(jī);若出現(xiàn)異常聲音或燒焦味,需立即切斷電源,這可能是內(nèi)部電路短路,切勿自行拆解,應(yīng)聯(lián)系 Sensofar 專業(yè)維修人員檢修;定期檢查電氣部件狀態(tài),避免因線路問題引發(fā)故障。
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