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澤攸ZP3-4微納探針臺(tái)是一款適用于微納器件電學(xué)性能測(cè)試的精密儀器,主要服務(wù)于半導(dǎo)體器件、納米材料和微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)等領(lǐng)域的研究與測(cè)試需求。該系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)理念,可滿(mǎn)足不同規(guī)格樣品的測(cè)試要求。澤攸ZP3-4微納探針臺(tái)精密電學(xué)測(cè)量平臺(tái)
澤攸科技ZEM15C是一款緊湊型臺(tái)式掃描電子顯微鏡,專(zhuān)為材料科學(xué)、生命科學(xué)、工業(yè)檢測(cè)等領(lǐng)域設(shè)計(jì)。該設(shè)備在保持傳統(tǒng)電鏡高分辨率優(yōu)勢(shì)的同時(shí),通過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了操作簡(jiǎn)便性和空間效率的平衡。澤攸科技ZEM15C臺(tái)式掃描電鏡技術(shù)解析與應(yīng)用
澤攸透射電鏡原位MEMS加熱/電學(xué)測(cè)量系統(tǒng),透射電子顯微鏡是提供在較高時(shí)間分辨率下得到原子級(jí)空間分辨率的實(shí)驗(yàn)手段。
澤攸透射電鏡原位MEMS低溫電學(xué)測(cè)量系統(tǒng),是在標(biāo)配MEMS芯片樣品桿上集成低溫控制模塊,實(shí)現(xiàn)低溫電學(xué)測(cè)量或全溫區(qū)測(cè)量功能。
澤攸透射電鏡原位MEMS液體電化學(xué)測(cè)量系統(tǒng),采用全新的O圈輔助密封設(shè)計(jì),更易封裝液體。實(shí)驗(yàn)中,樣品被密封在很薄氮化硅薄膜覆蓋的液體池內(nèi),池內(nèi)可以承載一個(gè)大氣壓。芯片電極聯(lián)通外接電路,從而在電鏡中搭建一個(gè)液體-電化學(xué)測(cè)試環(huán)境。
澤攸透射電鏡原位MEMS氣氛加熱測(cè)量系統(tǒng),在透射電子顯微鏡中制造氣氛及高溫環(huán)境,實(shí)現(xiàn)1 Bar & 800 ℃的端觀(guān)測(cè)條件。
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