產品特性

Sensofar 集成式3D共焦白光干涉儀測量頭S mart的重量約只有S neox的一半(6kg)，加上緊湊的外觀使的它在安裝上有更多選擇，例如可以直接在生產在線安裝做分析等。一般來說，在生產的環(huán)境中通常都會有震動或有害物質污染等因素而不適合放置量測儀器，但Sensofar集成式3D共焦白光干涉儀測量頭S mart在開發(fā)時已經考慮這些因素，一體成形的設計使得它能承受外部污染或震動影響。

雖然S mart體積較于S neox小，但是同樣保留了白光干涉、相位差干涉、共聚焦(Confocal)、多重聚焦四大功能，在光源部分同樣采用LED光，客戶可以自行彈性選擇要460nm、530nm、630nm或白光等波段。

Sensofar融合共聚焦和干涉技術讓設備同時擁有了粗糙度量測、三維形貌及薄膜厚度測量等功能，正是因為這種在技術融合，讓S mart光學輪廓儀的性價比遠高于其他同類型的設備。

S mart將顯微圖像、共聚焦圖像、共聚焦輪廓、相位差干涉（PSI）、白光干涉（VSI）和高分辨率的薄膜厚度測量的功能集于一體。這種基于設計的Microdisplay技術，簡明易學的軟件接口使您只需要選對鏡頭，正確對焦并選好測量方式就能快速準確地獲得所需的信息。