澤攸 臺(tái)階儀在設(shè)計(jì)上注重?cái)U(kuò)大測(cè)量范圍的同時(shí)保持測(cè)量精度,其驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)采用伺服電機(jī),運(yùn)行平穩(wěn),掃描過程中觸針測(cè)力波動(dòng)小。澤攸兼顧廣度與精度的臺(tái)階儀階儀
測(cè)量范圍擴(kuò)展至 0 - 200μm,垂直分辨率 0.05nm,水平分辨率 10nm,能應(yīng)對(duì)更深的臺(tái)階與更細(xì)微的表面特征。掃描長(zhǎng)度最大可達(dá) 50mm,適合較大尺寸樣品的整體測(cè)量,如 PCB 板的線路臺(tái)階檢測(cè)。
傳感器觸針可選配不同規(guī)格,針尖半徑涵蓋 2μm、5μm、10μm,適應(yīng)不同硬度與粗糙度的樣品。設(shè)備工作臺(tái)采用大理石材質(zhì),平面度誤差小,配有真空吸附裝置,可牢固固定各類樣品。
參數(shù)方面,掃描速度 0.05 - 2mm/s 可調(diào),數(shù)據(jù)采集率 100kHz,確??焖賿呙钑r(shí)數(shù)據(jù)不丟失。使用說(shuō)明中提示,測(cè)量前需進(jìn)行觸針校準(zhǔn),通過標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階樣塊校正系統(tǒng)誤差。適用于光學(xué)元件的表面輪廓測(cè)量、金屬材料的磨損深度分析等領(lǐng)域。
澤攸 ST200 臺(tái)階儀在設(shè)計(jì)上注重?cái)U(kuò)大測(cè)量范圍的同時(shí)保持測(cè)量精度,其驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)采用伺服電機(jī),運(yùn)行平穩(wěn),掃描過程中觸針測(cè)力波動(dòng)小。
測(cè)量范圍擴(kuò)展至 0 - 200μm,垂直分辨率 0.05nm,水平分辨率 10nm,能應(yīng)對(duì)更深的臺(tái)階與更細(xì)微的表面特征。掃描長(zhǎng)度最大可達(dá) 50mm,適合較大尺寸樣品的整體測(cè)量,如 PCB 板的線路臺(tái)階檢測(cè)。澤攸兼顧廣度與精度的臺(tái)階儀