白光干涉儀S neox的大視野測(cè)量能力

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白光干涉儀S neox的大視野測(cè)量能力：無縫銜接宏觀與微觀的精密測(cè)量。通過自動(dòng)拼接實(shí)現(xiàn)大視野全景掃描，一鍵切換高倍物鏡即可對(duì)局部缺陷進(jìn)行納米級(jí)精細(xì)測(cè)量，全面提升質(zhì)檢效率與數(shù)據(jù)分析深度。

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更新時(shí)間：2025-11-11

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三維光學(xué)輪廓儀

布魯克 BEUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀 Sensofar 儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR結(jié)構(gòu)光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測(cè)量干涉儀 ZYGO三維光學(xué)輪廓儀布魯克三維光學(xué)輪廓儀

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白光干涉儀S neox的大視野測(cè)量能力

在質(zhì)量控制和失效分析中，往往需要在宏觀和微觀尺度上同時(shí)對(duì)樣品進(jìn)行考察。例如，需要評(píng)估一個(gè)大型光學(xué)元件的面形精度，同時(shí)又要檢測(cè)其局部區(qū)域的微小劃痕或瑕疵。這就要求測(cè)量設(shè)備既具備“俯瞰全局"的大視野掃描能力，又擁有“明察秋毫"的高倍放大細(xì)節(jié)測(cè)量功能。Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀通過其精密的機(jī)械平臺(tái)、光學(xué)系統(tǒng)和智能軟件，實(shí)現(xiàn)了從宏觀到微觀的無縫銜接測(cè)量。

大視野測(cè)量的首要挑戰(zhàn)是如何突破單次視場(chǎng)的限制。S neox通過“圖像拼接"技術(shù)來解決這一問題。儀器驅(qū)動(dòng)電動(dòng)樣品臺(tái)或掃描鏡，按照預(yù)設(shè)的網(wǎng)格路徑移動(dòng)，系統(tǒng)自動(dòng)采集相鄰的一系列圖像和三維數(shù)據(jù)。隨后，利用軟件的高精度拼接算法，將這些有重疊區(qū)域的數(shù)據(jù)塊無縫拼接成一幅完整的、高分辨率的大面積三維形貌圖。這個(gè)過程可以是全自動(dòng)的，用戶只需定義拼接的行數(shù)和列數(shù)，或者直接設(shè)定需要覆蓋的矩形區(qū)域即可。

這種大面積的三維數(shù)據(jù)對(duì)于分析樣品的整體平整度、翹曲、應(yīng)變分布等參數(shù)非常有價(jià)值。例如，在平板顯示行業(yè)，可以測(cè)量玻璃基板的大面積形貌；在新能源領(lǐng)域，可以評(píng)估電池極片的涂布均勻性。獲取全局信息有助于從整體上把握產(chǎn)品的質(zhì)量狀況。

然而，僅有宏觀視野是不夠的。當(dāng)在大視野圖中發(fā)現(xiàn)感興趣的區(qū)域，如一個(gè)疑似缺陷的點(diǎn)時(shí)，用戶需要能快速地放大并進(jìn)行高倍率的精細(xì)測(cè)量。S neox的多物鏡集成轉(zhuǎn)盤設(shè)計(jì)于此發(fā)揮了關(guān)鍵作用。用戶可以在軟件中直接在大視野拼接圖上點(diǎn)擊感興趣的位置，軟件會(huì)自動(dòng)控制平臺(tái)將該點(diǎn)移動(dòng)至視野中心，然后自動(dòng)切換到更高倍率的物鏡（如20倍、50倍甚至150倍），對(duì)該區(qū)域進(jìn)行微米或納米尺度的精細(xì)測(cè)量。這種從低倍到高倍的自動(dòng)聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了“導(dǎo)航-定位-精細(xì)測(cè)量"的一體化流程，無需重新裝夾樣品，保證了宏觀坐標(biāo)與微觀數(shù)據(jù)的位置關(guān)聯(lián)準(zhǔn)確性。

此外，對(duì)于需要統(tǒng)計(jì)性分析的場(chǎng)景，如表面某種缺陷的分布密度，大視野測(cè)量提供了統(tǒng)計(jì)的基礎(chǔ)。軟件可以在拼接后的三維圖上，設(shè)定 criteria，自動(dòng)識(shí)別和定位所有符合特征的區(qū)域，并記錄其位置、尺寸、深度等信息，為統(tǒng)計(jì)分析提供豐富的數(shù)據(jù)樣本。

Sensofar S neox的大視野測(cè)量能力，打破了宏觀與微觀觀察之間的壁壘。它將白光干涉儀的高分辨率優(yōu)勢(shì)從單個(gè)視場(chǎng)擴(kuò)展到了整個(gè)樣品表面，為用戶提供了更全面、更立體的樣品信息。這種從整體到局部的工作流程，更符合現(xiàn)代研究和質(zhì)檢的實(shí)際需求，提升了設(shè)備的數(shù)據(jù)產(chǎn)出效率和洞察力。

白光干涉儀S neox的大視野測(cè)量能力

上一個(gè)：白光干涉儀S neox在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用