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白光干涉儀S neox的微顆粒檢測分析

產(chǎn)品簡介

白光干涉儀S neox的微顆粒檢測分析:Sensofar S neox通過三維形貌測量,可自動識別并量化表面微納顆粒的高度、體積及分布,實現(xiàn)潔凈度從定性觀察到定量分析的提升。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2025-11-17
廠商性質(zhì):代理商
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白光干涉儀S neox的微顆粒檢測分析

在半導體、數(shù)據(jù)存儲、精密光學等領域,表面上的微米甚至亞微米級顆粒污染物可能對產(chǎn)品性能或可靠性產(chǎn)生明顯影響。因此,對表面潔凈度的監(jiān)控和顆粒污染的分析顯得必要。Sensofar S neox 3D光學輪廓儀不僅能提供高清晰度的表面圖像,更能通過三維形貌測量對檢測到的顆粒進行量化分析。

傳統(tǒng)的顆粒檢測可能依賴于二維圖像分析,但二維方法難以區(qū)分真實顆粒與表面色斑或劃痕,也無法獲得顆粒的高度或體積信息。S neox通過三維測量提供了更豐富的數(shù)據(jù)。

檢測流程通常如下:首先,利用S neox的光學成像能力快速掃描一個相對大的區(qū)域,進行初步的顆粒定位和篩查。然后,可以切換到更高倍率的物鏡,對疑似顆粒的區(qū)域進行精細的三維掃描。

獲得三維形貌數(shù)據(jù)后,SensoMAP軟件的分析功能可以發(fā)揮作用。通過設定適當?shù)母叨乳撝岛统叽绾Y選條件,軟件可以自動識別并定位出表面上的顆粒狀特征。對于每一個被識別的顆粒,軟件可以計算出一系列參數(shù),例如:

投影面積:顆粒在XY平面上的覆蓋范圍。

高度:顆粒的頂點相對于基底的高度,反映了顆粒的“厚度"。

體積:顆粒的三維空間體積,這對于評估污染物總量可能提供參考。

密度分布:在較大區(qū)域內(nèi)統(tǒng)計單位面積上的顆粒數(shù)量。

這些定量數(shù)據(jù)比單純的“有"或“無"的定性判斷包含更多信息。例如,通過分析顆粒的高度和形狀,有時可以對顆粒的來源或性質(zhì)進行初步推斷(如球形顆粒可能與某些工藝相關)。顆粒的體積信息對于評估污染程度也可能具有參考價值。

需要注意的是,光學方法檢測顆粒存在其探測極限,受限于物鏡的分辨率和顆粒的材質(zhì)(如是否透明)。但對于許多不透明或具有一定反射率的微納顆粒,Sensofar S neox提供了一種將表面潔凈度檢查從定性觀察推向定量分析的工具,為工藝潔凈度控制和失效分析提供了數(shù)據(jù)支持。

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