白光干涉儀S neox的入門使用指引

通常，一次完整的測量流程可以簡化為以下幾個核心環(huán)節(jié)：

1.樣品放置與導(dǎo)航：將樣品平穩(wěn)放置在樣品臺上。打開SensoMAP軟件，使用低倍物鏡（如5倍或10倍）和實時預(yù)覽功能，通過軟件控制移動樣品臺，快速瀏覽樣品表面，找到需要測量的目標(biāo)區(qū)域。

2.對焦與物鏡選擇：使用軟件的自動對焦或手動對焦功能，使圖像清晰。根據(jù)待測特征的尺寸，通過軟件控制自動物鏡轉(zhuǎn)盤，切換到合適倍率的物鏡。原則通常是使目標(biāo)特征占據(jù)視場的適當(dāng)比例，以便于觀察和測量。

3.測量模式選擇與參數(shù)設(shè)置：軟件可能會根據(jù)實時圖像智能推薦測量模式（共聚焦或干涉）。用戶也可根據(jù)樣品特性手動選擇。對于白光干涉測量，可以設(shè)置掃描范圍和速度等參數(shù)。初學(xué)者可使用軟件預(yù)設(shè)的通用參數(shù)開始嘗試。

4.執(zhí)行測量：點擊測量按鈕，儀器將自動完成Z軸掃描和圖像采集。這個過程通常是自動化的。

5.數(shù)據(jù)分析與查看：測量完成后，三維形貌圖會自動顯示在軟件中。用戶可以利用軟件工具進(jìn)行基本的分析，例如：傾斜校正、選擇區(qū)域計算粗糙度（Sa, Sq等）、繪制截面線測量高度差等。軟件界面通常提供直觀的圖標(biāo)和菜單引導(dǎo)這些操作。

6.生成報告：分析完成后，可以將三維形貌圖、二維輪廓曲線和關(guān)鍵數(shù)據(jù)結(jié)果一鍵添加到報告模板中，并導(dǎo)出為通用格式的文件。

S neox的軟件通常提供詳細(xì)的幫助文檔和教程視頻。此外，“多點自動測量"功能對于需要重復(fù)性檢測的用戶非常實用，一旦由經(jīng)驗豐富的用戶設(shè)置好程序，后續(xù)操作將變得非常簡便。