白光干涉儀S neox的微透鏡陣列表征

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白光干涉儀S neox的微透鏡陣列表征:Sensofar S neox可對(duì)微透鏡陣列進(jìn)行高精度三維形貌測(cè)量，精確量化面形、曲率、矢高及陣列均勻性，為光學(xué)性能評(píng)估與工藝優(yōu)化提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支撐。

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更新時(shí)間：2025-11-18

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三維光學(xué)輪廓儀

布魯克 BEUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀 Sensofar 儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR結(jié)構(gòu)光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測(cè)量干涉儀 ZYGO三維光學(xué)輪廓儀布魯克三維光學(xué)輪廓儀

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白光干涉儀S neox的微透鏡陣列表征

微透鏡陣列是許多現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)的核心元件，廣泛應(yīng)用于光束整形、均勻照明、光場(chǎng)成像等領(lǐng)域。其性能高度依賴于每個(gè)微透鏡的面形精度、口徑、矢高以及陣列的均勻性。Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀為微透鏡陣列的全面定量表征提供了有效的測(cè)量方案。

白光干涉測(cè)量模式非常適合于測(cè)量光滑、連續(xù)的光學(xué)表面。對(duì)于微透鏡陣列，S neox可以快速獲取整個(gè)陣列或其中代表性區(qū)域的三維形貌。基于此數(shù)據(jù)，可以進(jìn)行一系列關(guān)鍵參數(shù)的提取：

•面形分析：可以評(píng)估每個(gè)微透鏡的實(shí)際面形與設(shè)計(jì)面形（如球形、非球面）的偏差，計(jì)算面形誤差。

•曲率半徑與焦距：通過(guò)擬合透鏡表面的三維數(shù)據(jù)，可以精確計(jì)算其曲率半徑，進(jìn)而推算焦距。

•矢高：精確測(cè)量透鏡頂點(diǎn)與邊緣的高度差。

•陣列均勻性：可以批量測(cè)量陣列中多個(gè)透鏡的口徑、矢高等參數(shù)，計(jì)算其均勻性，評(píng)估制造工藝的一致性。

S neox的大面積拼接功能允許測(cè)量超過(guò)單個(gè)視場(chǎng)的大型微透鏡陣列。其高垂直分辨率能夠精確分辨納米級(jí)的面形誤差。對(duì)于透明材質(zhì)的微透鏡，可以使用共聚焦模式或啟用透明材料校正算法。

此外，通過(guò)分析三維形貌數(shù)據(jù)，還可以評(píng)估透鏡表面的粗糙度，這對(duì)了解其散射損耗有參考價(jià)值。

因此，Sensofar S neox使微透鏡陣列的質(zhì)量評(píng)估從簡(jiǎn)單的焦距測(cè)量或干涉條紋觀察，推進(jìn)到對(duì)三維面形的精確、定量化分析，為工藝優(yōu)化和質(zhì)量控制提供了豐富的數(shù)據(jù)支持。