白光干涉儀S neox的濾光片測(cè)量

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白光干涉儀S neox的濾光片測(cè)量:Sensofar S neox可對(duì)光學(xué)濾光片基板及成品進(jìn)行非接觸測(cè)量，精確量化表面平整度、粗糙度與微缺陷，確保其光譜性能與鍍膜質(zhì)量。

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更新時(shí)間：2025-11-18

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光學(xué)濾光片，尤其是干涉型濾光片，其性能取決于內(nèi)部多層膜的結(jié)構(gòu)和厚度。任何基片的不平整度或表面缺陷都會(huì)影響濾光片的光譜特性。Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀可以用于濾光片基板和成品的關(guān)鍵參數(shù)測(cè)量。

對(duì)于濾光片基板，表面平整度是核心參數(shù)。基板的局部不平整會(huì)導(dǎo)致濾光片中心波長(zhǎng)和帶寬發(fā)生變化。S neox的白光干涉模式可以快速掃描基板的大面積區(qū)域，精確測(cè)量其整體平面度或局部平整度誤差，確保基板滿足鍍膜要求。

表面粗糙度是另一個(gè)重要參數(shù)。過(guò)高的表面粗糙度會(huì)導(dǎo)致光散射增加，降低濾光片的透射率或增加截止帶的背景噪聲。S neox能夠以亞納米級(jí)的垂直分辨率測(cè)量基板表面的粗糙度。

對(duì)于成品濾光片，S neox可以檢測(cè)其表面是否存在劃痕、疵點(diǎn)、顆粒污染等缺陷。這些缺陷會(huì)散射光，影響濾光片的性能。儀器可以量化缺陷的尺寸和深度。

此外，對(duì)于某些類型的濾光片結(jié)構(gòu)，如嵌入式或表面微結(jié)構(gòu)濾光片，S neox可以測(cè)量其三維形貌。

S neox的非接觸式測(cè)量避免了對(duì)脆弱光學(xué)薄膜表面的潛在損傷。其高分辨率能夠探測(cè)到納米尺度的形貌變化。

因此，Sensofar S neox為光學(xué)濾光片的制造過(guò)程提供了一種質(zhì)量控制手段，從基板入庫(kù)檢驗(yàn)到鍍膜后成品檢測(cè)，幫助確保濾光片的光學(xué)性能符合設(shè)計(jì)預(yù)期。

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