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臺(tái)式電鏡&臺(tái)階儀&原位分析
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PicoFemto透射電鏡原位STM-TEM力電一體測(cè)量系統(tǒng)是在標(biāo)準(zhǔn)外形的透射電鏡樣品桿內(nèi)加裝掃描探針控制單元,通過探針對(duì)單個(gè)納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行操縱和電學(xué)測(cè)量,并可在電學(xué)測(cè)量的同時(shí),動(dòng)態(tài)、高分辨地對(duì)樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價(jià)態(tài)進(jìn)行綜合表征,大大地?cái)U(kuò)展了透射電子顯微鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。
PicoFemto透射電鏡原位STM-TEM低溫電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)可在電學(xué)測(cè)量的同時(shí),動(dòng)態(tài)、高分辨地對(duì)樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價(jià)態(tài)進(jìn)行綜合表征,大大地?cái)U(kuò)展了透射電子顯微鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。
PicoFemto透射電鏡原位高溫力學(xué)測(cè)量系統(tǒng),同時(shí)集成了力學(xué)測(cè)量模塊及MEMS芯片模塊,可以在對(duì)樣品1000 ℃加熱的同時(shí)進(jìn)行定量的力學(xué)測(cè)量。
PicoFemto原位MEMS-STM-TEM多場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng)是原位透射電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),使研究者可以在透射電子顯微鏡中構(gòu)建一個(gè)可控的多場(chǎng)環(huán)境(包括力、熱、光、電等),從而對(duì)材料或者器件等樣品實(shí)現(xiàn)多重激勵(lì)下的原位表征。
低溫液氮探針臺(tái) LN-4H-06主要是由真空腔體、探針控制、顯微鏡模塊、變溫樣品臺(tái)、進(jìn)口分子泵組、全旺程真空規(guī)、智能溫控儀等組成。
干式液氦溫區(qū)探針臺(tái) LHe-6H-06真空腔體:真空度優(yōu)于6×10-4 Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5 Pa。留有2個(gè)用戶法蘭接口(KF40可接入氣體或者額外的電纜)。
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